工業(yè)氧氣的生產方法主要有空氣液化分離精餾法( 簡稱空分法)、水電解法和變壓吸附法等。 空分法生產氧氣的工藝流程大體是：吸收空氣→二氧化碳吸收塔→壓縮機→冷卻器→干燥器→冷凍機→液化分離器→油分離器→氣體儲槽→氧氣壓縮機→氣體充裝。其基本原理是將空氣液化后，利用空氣中各組份沸點的不同在液化分離器進行分離精餾，制取氧氣。大型制氧機組的研究開發(fā)投用，使得制氧能耗不斷降低，并易于同時生產多種空分產品(如氮氣、 氬氣及其它惰性氣體等)。為了便于儲存和運輸， 經液化分離器分離后的液氧，用泵輸入低溫液體儲槽，再經槽車運至各深冷液化氣體充裝站。液氮、液氬也采用此法儲存、運輸。